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金属蚀刻过程的控制

文章出处:本站  责任编辑:Editor  人气:2226  发表时间:2019-2-27 10:52:41  【
? ? ? ? ? <b style="text-indent: 21.1pt;"><span style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;"><a href="http://www.zld88.com/">金属蚀刻</a></span></b><span style="text-indent: 21.1pt; font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;"><font face="宋体">质量的保证主要来自于对蚀刻过程的控制</font>,</span><b style="text-indent: 21.1pt;"><span style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;"><a href="http://www.zld88.com/">金属蚀刻</a></span></b><span style="text-indent: 21.1pt; font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">过程的控制分为化学参数</span><span style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">控制和物理参数控制。</span></p> <p class="MsoNormal"><span style="mso-spacerun:′yes′;font-family:宋体;mso-ascii-font-family:Calibri;mso-hansi-font-family:Calibri;mso-bidi-font-family:′Times New Roman′;font-size:10.5000pt;mso-font-kerning:1.0000pt;">?</span></p> <p class="MsoNormal"><span style="mso-spacerun:′yes′;font-family:宋体;mso-ascii-font-family:Calibri;mso-hansi-font-family:Calibri;mso-bidi-font-family:′Times New Roman′;font-size:10.5000pt;mso-font-kerning:1.0000pt;">1.<font face="宋体">化学参数控制</font></span><span style="mso-spacerun:′yes′;font-family:宋体;mso-ascii-font-family:Calibri;mso-hansi-font-family:Calibri;mso-bidi-font-family:′Times New Roman′;font-size:10.5000pt;mso-font-kerning:1.0000pt;"><o:p></o:p></span></p> <p class="MsoNormal" style="text-indent:21.0000pt;mso-char-indent-count:2.0000;"><span style="mso-spacerun:′yes′;font-family:宋体;mso-ascii-font-family:Calibri;mso-hansi-font-family:Calibri;mso-bidi-font-family:′Times New Roman′;font-size:10.5000pt;mso-font-kerning:1.0000pt;"><font face="宋体">化学参数控制对于维持蚀刻液均匀的蚀刻速度是非常关键的</font>,<font face="宋体">化学参数控制主要</font></span><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">包括溶液浓度的控制和溶液中各组分之间的比例控制。对这两方面的控制</font><span style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">,</span><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">前者的浓度控制</font><span style="mso-spacerun:′yes′;font-family:宋体;mso-ascii-font-family:Calibri;mso-hansi-font-family:Calibri;mso-bidi-font-family:′Times New Roman′;font-size:10.5000pt;mso-font-kerning:1.0000pt;"><font face="宋体">容易</font>,<font face="宋体">可以通过分析的方法就能确定溶液中成分的消耗情況。而对于后者控制难度要大一些</font></span><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">主要是因为蚀刻液中的添加物质含量较低</font><span style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">,</span><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">并且可能是一些较难分析的材料</font><font face="Calibri" style="font-size: 10.5pt;">,</font><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">或和蚀刻液</font><span style="mso-spacerun:′yes′;font-family:宋体;mso-ascii-font-family:Calibri;mso-hansi-font-family:Calibri;mso-bidi-font-family:′Times New Roman′;font-size:10.5000pt;mso-font-kerning:1.0000pt;">中的主料分离较为困难。</span><span style="mso-spacerun:′yes′;font-family:宋体;mso-ascii-font-family:Calibri;mso-hansi-font-family:Calibri;mso-bidi-font-family:′Times New Roman′;font-size:10.5000pt;mso-font-kerning:1.0000pt;"><o:p></o:p></span></p> <p class="MsoNormal" style="text-indent:21.0000pt;mso-char-indent-count:2.0000;"><span style="mso-spacerun:′yes′;font-family:宋体;mso-ascii-font-family:Calibri;mso-hansi-font-family:Calibri;mso-bidi-font-family:′Times New Roman′;font-size:10.5000pt;mso-font-kerning:1.0000pt;"><font face="宋体">化学参数控制的依据来源于对溶液成分的分析而不是经验的估计</font>,<font face="宋体">当然对于一些小厂并</font></span><span style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">不排除操作者可以通过观察蚀刻过程进行的激烈程度、被蚀刻金属表面的状态以及溶液颜色</span><span style="mso-spacerun:′yes′;font-family:宋体;mso-ascii-font-family:Calibri;mso-hansi-font-family:Calibri;mso-bidi-font-family:′Times New Roman′;font-size:10.5000pt;mso-font-kerning:1.0000pt;"><font face="宋体">的变化再根据经验来进行调节</font>,<font face="宋体">并满足在一定程度上的可控性。这种方式对于成分单一的蚀</font></span><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">刻液具有一定的实用性</font><span style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">,</span><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">但对于成分组成复杂</font><font face="Calibri" style="font-size: 10.5pt;">,</font><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">同时对金属蚀刻深度均一性要求较高的工件</font><font face="Calibri" style="font-size: 10.5pt;">,</font><span style="mso-spacerun:′yes′;font-family:宋体;mso-ascii-font-family:Calibri;mso-hansi-font-family:Calibri;mso-bidi-font-family:′Times New Roman′;font-size:10.5000pt;mso-font-kerning:1.0000pt;"><font face="宋体">采用这种方法有很大的局限性</font>,<font face="宋体">难于保证批量生产的需要。从保证产品质量稳定的角度出发</font><font face="Calibri">,</font></span><span style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">要求蚀刻厂能把分析结果作为调整蚀刻液的依据。</span></p> <p class="MsoNormal" style="text-indent:21.0000pt;mso-char-indent-count:2.0000;"><span style="mso-spacerun:′yes′;font-family:宋体;mso-ascii-font-family:Calibri;mso-hansi-font-family:Calibri;mso-bidi-font-family:′Times New Roman′;font-size:10.5000pt;mso-font-kerning:1.0000pt;"><font face="宋体">化学蚀刻溶液的分析周期主要受以下几方面因素的影响</font>:<font face="宋体">①溶液体积</font><font face="Calibri">;</font><font face="宋体">②溶液的初始浓</font></span><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">度</font><span style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">;</span><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">③单位体积的负荷量</font><font face="Calibri" style="font-size: 10.5pt;">;</font><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">④蚀刻量</font><font face="Calibri" style="font-size: 10.5pt;">(</font><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">一般以日为单位</font><font face="Calibri" style="font-size: 10.5pt;">)</font><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">。对这几方面的影响因素很容易理解</font><font face="Calibri" style="font-size: 10.5pt;">,</font><span style="mso-spacerun:′yes′;font-family:宋体;mso-ascii-font-family:Calibri;mso-hansi-font-family:Calibri;mso-bidi-font-family:′Times New Roman′;font-size:10.5000pt;mso-font-kerning:1.0000pt;"><font face="宋体">溶液体积小、溶液初始浓度低、单位体积的负荷量较大的情况下</font>,<font face="宋体">蚀刻液成分的变化速度就快其分析周期就较短</font><font face="Calibri">,</font><font face="宋体">反之则长。通常而言</font><font face="Calibri">,</font><font face="宋体">如果蚀刻溶液体积不大</font><font face="Calibri">,</font><font face="宋体">批量生产的情况下应保持</font></span><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">每个班次分析一次</font><span style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">(</span><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">这里的班次是以</font><font face="Calibri" style="font-size: 10.5pt;">8h</font><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">为一个生产周期计算</font><font face="Calibri" style="font-size: 10.5pt;">)</font><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">。</font></p> <p class="MsoNormal" style="text-indent: 21pt; text-align: center;"><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;"><a href="http://www.zld88.com/"><img src="/include/upload/fck/_DSC6351.jpg" width="600" height="467" alt="" /></a></font></p> <p class="MsoNormal"><span style="mso-spacerun:′yes′;font-family:宋体;mso-ascii-font-family:Calibri;mso-hansi-font-family:Calibri;mso-bidi-font-family:′Times New Roman′;font-size:10.5000pt;mso-font-kerning:1.0000pt;">?</span></p> <p class="MsoNormal"><span style="mso-spacerun:′yes′;font-family:宋体;mso-ascii-font-family:Calibri;mso-hansi-font-family:Calibri;mso-bidi-font-family:′Times New Roman′;font-size:10.5000pt;mso-font-kerning:1.0000pt;">2.<font face="宋体">物理参数控制</font></span><span style="mso-spacerun:′yes′;font-family:宋体;mso-ascii-font-family:Calibri;mso-hansi-font-family:Calibri;mso-bidi-font-family:′Times New Roman′;font-size:10.5000pt;mso-font-kerning:1.0000pt;"><o:p></o:p></span></p> <p class="MsoNormal" style="text-indent:21.0000pt;mso-char-indent-count:2.0000;"><span style="mso-spacerun:′yes′;font-family:宋体;mso-ascii-font-family:Calibri;mso-hansi-font-family:Calibri;mso-bidi-font-family:′Times New Roman′;font-size:10.5000pt;mso-font-kerning:1.0000pt;">物理参数的控制分为通用参数控制及蚀刻方式所决定的其他参数控制。通用参数控制主</span><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">要是对在蚀刻过程中时间、温度进行控制</font><span style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">:</span><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">由蚀刻方式所决定的其他参数控制包括浸泡蚀刻的溶液搅拌程度的控制以及喷射蚀刻的喷射压力的控制。在化学参数可控范围内</font><font face="Calibri" style="font-size: 10.5pt;">,</font><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">物理参数的控制对于维持其蚀刻速度的恒定及蚀刻均匀性是非常重要的。物理参数的控制相对于化学参数的控制来说要容易得多</font><font face="Calibri" style="font-size: 10.5pt;">,</font><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">也直观得多。同时</font><font face="Calibri" style="font-size: 10.5pt;">,</font><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">一些设备对温度、时间及喷射压力都有自控装置</font><font face="Calibri" style="font-size: 10.5pt;">,</font><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">只需要预先将这些参数输人即可。</font></p> <p class="MsoNormal" style="text-indent: 21pt; text-align: center;"><span style="mso-spacerun:′yes′;font-family:宋体;mso-ascii-font-family:Calibri;mso-hansi-font-family:Calibri;mso-bidi-font-family:′Times New Roman′;font-size:10.5000pt;mso-font-kerning:1.0000pt;">?<img src="/include/upload/fck/码盘(5).jpg" width="600" height="467" alt="" /></span></p> <p class="MsoNormal" style="text-indent:21.0000pt;mso-char-indent-count:2.0000;"><span style="mso-spacerun:′yes′;font-family:宋体;mso-ascii-font-family:Calibri;mso-hansi-font-family:Calibri;mso-bidi-font-family:′Times New Roman′;font-size:10.5000pt;mso-font-kerning:1.0000pt;">任何</span><b><span style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;"><a href="http://www.zld88.com/">金属蚀刻</a></span></b><span style="mso-spacerun:′yes′;font-family:宋体;mso-ascii-font-family:Calibri;mso-hansi-font-family:Calibri;mso-bidi-font-family:′Times New Roman′;font-size:10.5000pt;mso-font-kerning:1.0000pt;"><font face="宋体">都一定有两个需要控制的指标</font>,<font face="宋体">即深度和表面平滑度。虽然物理因素和化</font></span><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">学因素的变化都会对蚀刻深度及表面平滑度产生影响</font><span style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">,</span><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">但在确定的蚀刻液成分及浓度的情况</font><span style="mso-spacerun:′yes′;font-family:宋体;mso-ascii-font-family:Calibri;mso-hansi-font-family:Calibri;mso-bidi-font-family:′Times New Roman′;font-size:10.5000pt;mso-font-kerning:1.0000pt;"><font face="宋体">下</font>,<font face="宋体">对深度的影响主要是物理因素</font><font face="Calibri">,</font><font face="宋体">在温度、压力恒定的前提下</font><font face="Calibri">,</font><font face="宋体">确保蚀刻深度指标的因素</font></span><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">是蚀刻时间</font><span style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">,</span><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">在实际生产中也是通过时间来对蚀刻深度进行控制。而对于表面平滑度</font><font face="Calibri" style="font-size: 10.5pt;">,</font><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">虽</font><span style="mso-spacerun:′yes′;font-family:宋体;mso-ascii-font-family:Calibri;mso-hansi-font-family:Calibri;mso-bidi-font-family:′Times New Roman′;font-size:10.5000pt;mso-font-kerning:1.0000pt;"><font face="宋体">然温度的变化会有一定的影响</font>,<font face="宋体">但主要还是受蚀刻液的化学组分的影响</font><font face="Calibri">,</font><font face="宋体">在化学组中添加物质</font></span><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">对表面平滑度的影响比蚀刻主剂的影响更大</font><span style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">,</span><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">同时调整也更困难</font><font face="Calibri" style="font-size: 10.5pt;">,</font><font face="宋体" style="font-family: 宋体; font-size: 10.5pt;">但可以通过实验确定一个单</font><span style="mso-spacerun:′yes′;font-family:宋体;mso-ascii-font-family:Calibri;mso-hansi-font-family:Calibri;mso-bidi-font-family:′Times New Roman′;font-size:10.5000pt;mso-font-kerning:1.0000pt;">位面积消耗量的经验值来控制。</span><span style="mso-spacerun:′yes′;font-family:Calibri;mso-fareast-font-family:宋体;mso-bidi-font-family:′Times New Roman′;font-size:10.5000pt;mso-font-kerning:1.0000pt;"><o:p></o:p></span></p> <p class="tr"><a href="#ReviewSubmit"><img src="/skin/zld/img/pl.gif" /></a> <a href="javascript:" onclick="SendToMyFriend('金属蚀刻过程的控制')"><img src="/skin/zld/img/tj.gif" /></a> <a href="javascript:window.print();"><img src="/skin/zld/img/dy.gif" /></a> <a href="javascript:" onclick="copyUrl()"><img src="/skin/zld/img/kb.gif" /></a> </p> <p><span class="fr">下一篇:<strong><a href='/detail/1177.aspx' title='精密腐蚀加工-南通卓力达'>精密腐蚀加工-南通卓力达</a></strong></span>上一篇:<strong><a href='/detail/239.aspx' title='PCMI蚀刻行业协会'>PCMI蚀刻行业协会</a></strong></p> </div> <div class="xgzx"> <h1>相关资讯</h1> <ul> <li><span>2021-07-13</span><a href="/detail/1203.html" target="_blank">国际氢能与燃料电池大会召开在即,卓力达蚀刻解决双极板,集流板</a></li> <li><span>2020-12-09</span><a href="/detail/1193.html" target="_blank">喷油嘴滤网的用途及特点</a></li> <li><span>2019-12-09</span><a href="/detail/1192.html" target="_blank">不锈钢蚀刻滤网的性能及特点</a></li> <li><span>2019-12-04</span><a href="/detail/1191.html" target="_blank">5G手机散热解决方案蚀刻VC散热</a></li> <li><span>2019-04-26</span><a href="/detail/1190.html" target="_blank">影响不锈钢蚀刻精度的因素</a></li> <li><span>2019-04-24</span><a href="/detail/1189.html" target="_blank">解读不锈钢蚀刻、铜蚀刻、铝蚀刻的区别</a></li> <li><span>2019-04-19</span><a href="/detail/1188.html" target="_blank">金属蚀刻表面处理--除油</a></li> <li><span>2019-04-18</span><a href="/detail/1187.html" target="_blank">金属蚀刻表面预处理的重要性</a></li> <li><span>2019-04-11</span><a href="/detail/1185.html" target="_blank">南通卓力达带您了解什么是蚀刻技术</a></li> <li><span>2019-04-02</span><a href="/detail/1184.html" target="_blank">蚀刻方式及蚀刻设备的选择</a></li> <br class="clear" /> </ul> </div> <div id="review-list">正在载入评论数据...</div> <div class="fbpl"> <h1><a name="#ReviewSubmit"></a>我要评论:</h1> <form action="/tools/ajax.aspx?act=product_comm_add" method="post" name="pr_Form" id="pr_Form"> <table> <tr> <td>用户名:</td> <td><input type="text" class="in3" id="nike_name" name="nike_name"/></td> </tr> <tr> <td valign="top">内 容:</td> <td><textarea class="tex1" id="content" name="content"></textarea></td> </tr> <tr> <td></td> <td> <input type="button" class="b3" onclick="product_comm_add(this)"/> <input type="hidden" value="1176" name="goods_id" id="goods_id" /> <input type="hidden" value="2" name="comment_type" id="comment_type" /> </td> </tr> <tr> <td></td> <td><br /><strong>请注意:</strong><br />1.尊重网上道德,遵守中华人民共和国的各项有关法律法规,不发表攻击性言论。<br />2.承担一切因您的行为而直接或间接导致的民事或刑事法律责任。<br />3.新闻留言板管理人员有权保留或删除其管辖留言中的任意内容。</td> </tr> </table> </form> </div> </div> <img src="/skin/zld/img/bg4.jpg" /></div><br class="clear" /> </div> <script type="text/javascript"> $(document).ready(function() { LoadReviewList(1); 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